Для проведения процесса стерилизации окисью этилена требуется специальное оборудование, которое обеспечивает герметичность среды, контролирует концентрацию газа в камере и в помещении, время экспозиции. Низкотемпературный метод актуален для предметов из пластика, полиэтилена, резины и текстиля, оптики, электроники.