Одним из широко используемых методов стерилизации микроэлектронных устройств, включая микрочипы, является стерилизация окисью этилена. Оксид этилена — это универсальный газ, обладающий превосходными проникающими свойствами. Это обеспечивает тщательную стерилизацию, устраняя бактерии, вирусы и другие микроорганизмы, которые могут присутствовать.