Процедура стерилизации начинается с загрузки материала или оборудования в специальные контейнеры, которые затем герметически закрываются. Оксид этилена подается в камеры, оборудованные таким образом, чтобы повышать температуру и давление внутри. Стерилизация окисью этилена относится к низкотемпературным процессам, она не повреждает вещества и материалы, не разрушает их структуру, не провоцирует поломку оборудования.